超纯水、高纯水、纯水的主要区别如下：
超纯水
定义：超纯水是一般工艺很难达到的程度，采用多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法制备而成。
制备工艺：包括预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤。
高纯水
定义：高纯水是指将水中的导电介质几乎全部去除，又将水中不离解的胶体物质、气体和有机物均去除至很低程度的水。
制备工艺：通过特定的处理工艺，使水的含盐量在0.3mg/L以下，电导率小于0.2μs/cm。
纯水
定义：纯水又称纯净水、去离子水，是指以符合生活饮用水卫生标准的水为原水，通过电渗析器法、离子交换器法、反渗透法、蒸馏法及其他适当的加工方法制得的水。
制备工艺：主要通过反渗透膜过滤，反渗透膜的孔径一般为10A到100A之间，能去除95%以上的离子态杂质。
超纯水
电阻率：可达18.25MΩ*cm，是三种水中最高的。
杂质含量：几乎不含任何杂质，包括细菌、病毒、有机物等。
高纯水
含盐量：在0.3mg/L以下。
电导率：小于0.2μs/cm，杂质含量小于0.1mg/L，部分高纯水的纯度已达到99.999999%。
纯水
离子态杂质去除率：能去除95%以上的离子态杂质。
其他杂质：虽然去除了大部分离子态杂质，但仍可能含有微量的有机物、胶体物质等。
超纯水
主要用途：集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，还用于固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作。
特点：由于超纯水中几乎不含任何杂质，因此非常适合用于对水质要求极高的领域。
高纯水
主要用途：高纯水在多个领域都有广泛应用，如实验室分析、化工生产、医药制造等。
特点：高纯水的杂质含量极低，电导率小，适合用于对水质有一定要求的领域。
纯水
主要用途：纯水在市场上以太空水、蒸馏水等形式出售，可直接饮用（但不建议长期大量饮用），也用于铅酸蓄电池补水、发酵培养基的调制等。
特点：纯水去除了大部分离子态杂质，但可能仍含有微量的有机物、胶体物质等，因此适合用于对水质要求不高的领域。
（注：图片为超纯水制备流程示意图，展示了超纯水制备过程中的多个步骤和单元操作。）
综上所述，超纯水、高纯水和纯水在定义、制备工艺、水质指标和应用领域等方面都存在显著差异。选择哪种水取决于具体的应用需求和场景。
